一、考试的总体要求

　　"薄膜电子技术"是微电子学与固体电子学专业的主干课程。本课程的考试目的是考察学生对基本理论知识、基本技能的掌握情况，考察学生分析问题解决问题的能力。

　　二、考试内容

　　1、薄膜的制备技术：

　　1) 真空技术基础：

　　真空的基本知识，真空的获得，真空度的表征和检测。

　　2) 物理气相沉积镀膜技术：

　　真空蒸发镀膜原理，蒸发源类型及原理，蒸发特性及参数，合金及化合物蒸发。溅射镀膜类型及原理、特点，溅射特性参数。离子镀膜原理、特点。

　　3) 化学气相沉积镀膜技术：

　　不同类型化学气相沉积镀膜方法原理及特点 常压化学气相沉积，低压化学气相沉积，等离子增强化学气相沉积，有机金属化学气相沉积，光化学气相沉积。

　　4) 溶液镀膜法：

　　化学镀，溶胶-凝胶法，LB 膜的制备原理和特点。

　　2、薄膜形成理论：

　　1)薄膜的形成过程,薄膜的形成与生长形式。热适应系数，热力学界面能理论，原子聚集理论。

　　2)薄膜的结构与缺陷：薄膜的组织结构、晶体结构、表面结构，薄膜的缺陷及产生机理。

　　3、薄膜结构与化学组分检测方法：

　　X 射线衍射法，扫描电子显微镜法，X 射线光电子能谱法，检测原理与特点。

　　三、参考书目

　　薄膜物理与技术，杨邦朝等，电子科技大学出版社。

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